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真空装置:超高真空平板炉

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-11 1:04:48 * 浏览: 30
图9-14是钹式炉的真空系统的示意图。真空室的直径为500mm。主泵为溅射离子泵,钛升华泵组,抽速为4×10 ^ 3L / s。真空室的极限真空度为2×10 -7 Pa,工作压力为2×10 -5 -5 Pa。为了粗加工泵并处理在该过程中释放的大量气体,提供了由油扩散泵和机械泵组成的单元。