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用于表面研究的超高真空设备

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-06 1:11:59 * 浏览: 5
图9-15是用于表面研究的超高真空设备的真空系统的示意图。真空室由不锈钢制成,直径450毫米,高700毫米,体积100升,用铜垫圈密封。该系统使用三个分子筛泵和一个无油机械泵进行粗抽。主泵是钛升华泵,吸气表面由液氮冷却,溅射离子泵与升华泵组合用于泵送。将该体系从大气中抽出1×10 ^ -2Pa,保持15min,200℃焙烧3.5h后的真空度为10 ^ -2Pamdash,10 ^ -8Pa,极限真空30h,1次,10 ^ -8Pa。