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在真空室的吸入口处泵的有效泵送速度

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-30 16:01:10 * 浏览: 4
z *简易真空泵系统如图9-1所示。真空室的气体负荷Q [Pa.L / s]通过真空装置或真空泵通过流量为U的管道抽空。在图中,S是真空室抽吸的有效抽速。端口,P和Pp分别是入口和出口压力,Sp是真空泵的抽速。根据流量的定义,当Sp固定时,真空泵系统的有效抽速随管道电导而变化。三者之间的关系如图9-2所示。从等式(9-3d)和(9-3e)可知,如果管道的流导很大,即U“Sp”,那么Sasymp,Sp,在这种情况下,有效抽速S仅限于泵。如果U“S ,Sasymp,U,在这种情况下,有效抽速S受管道传导的限制。可以看出,为了提高泵的有效泵送速度,必须尽可能地增加管道传导,使管道短而粗,特别是对于高真空管道。在正常情况下,对于高真空管道,泵的泵送速度损失不应大于40%至60%,而对于低真空管道,损失允许为5%至10%。应用线图如图9-3所示,可以计算出有效的抽速。例如,泵的泵送速度Sp为10L / s,管道的导流U为12L / s,并且获得泵的有效泵送速度S.方法:在OA线上找到Sp为10L / s的点,在OC线上找到U为12L / s的点,并将这两个点连接到OB线。这一点是有效的抽速S值。从图中可以看出S为5.5L / s。为了理解该单元的泵送特性,可以根据所测量的真空泵的抽速曲线和各种压力下的电导计算值绘制该单元的有效抽速图。例如,一个低真空抽油机,由一个抽油速度为50 L / s的油封机械泵和一个直径3厘米,长度为1000厘米的吸水管组成,有效抽速曲线是一个函数压力如图9-4所示。绘制步骤:1根据真空泵目录,绘制真空泵的实际抽速曲线Sp,2根据公式(2-24)分别计算直径3cm和长度1000cm的管道的平均压力p,1Pa ,10Pa,10 ^ 2Pa,10 ^ 3Pa,根据公式(9-3e)计算10 ^ 4Pa和10 ^ 5Pa各点的流导U.相应压力下的有效抽速S如表9-4所示。表9-4d = 3cm,L = 1000cm管道和50L / s油封机械泵串联的有效抽速(假设Pi = p2,pl,p2分别为管道入口和出口压力)根据计算数据表9-4,绘制图9-4。从图9-4可以看出,当单元在10 ^ 4Pa以上运行时,真空泵的抽速很小,因为管道导流器U比抽真空速度Sp大许多倍。因此,有效抽速大约等于真空泵的抽速。当真空泵在约10 ^ 3Pa下操作时,泵的泵送速度损失太多,使得有效泵送速度下降到泵的泵送速度的约70%。当真空泵在10 ^ 2Pa下操作时,泵的泵送速度损失更大。可以看出,该装置适用于105Pa至104Pa之间的工作,不适合在102Pa以下使用。