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真空装置自动控制 - 真空计

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-28 5:27:18 * 浏览: 0
[Convo真空网]在真空设备的自动控制中,经常进行真空测量。由于各种各样的真空装置和不同的工作压力范围,将遇到各种真空区域中的真空测量台。通常使用的真空计包括电阻真空计,热电偶真空计,电容膜真空计,电离真空计,超高真空计等。为了扩展真空计的功能,真空仪器制造商还生产功能模块板,包括遥控遥测,模拟输出,RS-232C等通讯接口,压力调节等供用户选择。因此,设备齐全的真空计不仅可以进行真空测量,数字显示,自动量程切换,自动纠错,还可以在压力设定点发送控制信号进行压力控制,并根据设定的压力值自动输出压力。调整后,测量值也可以打印和记录,并与主机通信,甚至远程真空测量和控制。 (1)压力控制器在工业生产和科学实验中,通常希望真空装置的真空室中的真空保持在真空过程所需的给定值。这个要求通常可以通过手动调节真空调整阀来实现,如果需要自动调节压力,则可以通过压力控制器来完成。压力控制器通常由真空测量单元(真空计),压力自动调节电路和真空调节阀组成。它是集真空测量和压力调节于一体的自动控制仪表。国内压力控制仪表主要包括HY,ZDC,SYK,DL,ZZK等产品。表征压力控制器的主要技术指标是压力控制范围,控制精度,流量控制范围和反应时间。这取决于它配备的真空计,控制电路和真空调节器的性能。压力控制器广泛用于离子注入,离子束蚀刻,真空涂覆,激光技术和半导体材料。环境条件类似于相同类型的真空计。 (2)压力控制仪表类型和基本参数1类型:模型表示方法尚未统一。有些用中文拼音字母代表,有些用英文缩写代表。 2个基本参数