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真空控制常用名词汇词

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-27 13:58:15 * 浏览: 3
1.受控对象实现控制所需的真空装置或生产过程称为受控对象。例如,真空阀,真空泵,真空涂布机,真空热处理炉等。 2.一种测量控制量变化的测量装置。例如:真空计,温度计,薄膜厚度计等.3。调节装置(调节器)将测量装置测量的控制量与真空过程需要维持的给定值进行比较,得到偏差值根据设计的操作规则进行计算以发出信号,从而控制执行器动作以消除受控量与给定值的偏差。如模拟PID(比例,积分,差分)调节器,数字PID调节器(即微控制器,计算机)。在真空装置的真空控制中,通常将其与测量装置的真空计和致动器的真空调节阀组合以形成压力控制器。 4.致动器接收来自调节装置的信号以产生调节以消除受控量和给定值之间的偏差。例如用于调节真空室中的真空度的调节阀和用于调节加热温度的调节装置都是这样的机构。 5.受控量是指在受控对象内实现控制所需的参数。例如:压力,温度,流量,薄膜厚度等.6。由测量值测量装置测量的受控量的实际值。 7.规定值必须保持不变或根据预定的法律改变。 8.偏差的测量值与给定值之间的差异。 9.扰动干扰这是导致控制量发生变化的一个因素。有两种干扰:一种是控制系统中每个环节产生的干扰,称为内部干扰,另一种是对控制系统外部系统的干扰,称为外部干扰。 10.反馈将输出信号发送回输入以增强或衰减输入信号的效果称为反馈。任何进行输入信号增强的人都称为正反馈,反之亦然称为负反馈。负反馈通常用于自动控制系统。 11.调整过程意味着在控制系统受到外部信号(设定值或干扰)后,原始平衡状态被破坏,并且由于自动控制装置的调整功能,受控量返回到原始平衡状态,或过渡到新的均衡状态的过程。 12.位置调整是指当受控量偏离给定值时,调节执行器以完全打开或关闭执行器。例如,给定上下压力的真空继电器的压力调节。 13.由比例调节调节器输出的信号与偏差的大小成比例,使得致动器的位置对应于偏差的大小,这减小了偏差,但不能完全消除偏差。常用的P(比例)表示法。 14.比例积分调节调节器输出的信号不仅与偏差成正比,而且与偏差与时间的积分成正比,因此执行器根据偏差比和积分定律进行调整,即理论偏差为零。常用的PI(Propor-tional Intergral)。 15.比例积分微分调整是一种综合调整,它结合了比例,积分和微分三种调整规则。调节器输出的信号不仅与偏差的大小和偏差的长度有关,而且与偏差的速度有关。常用的PID(ProportionalIntergralDerivative)表示法。当比例放大率Kp增加Kp时,静态偏差减小,但系统的稳定性恶化。相反,可以提高系统的稳定性,但静态偏差变大。通常由reci表示procal d是调节器的比例放大系数Kp,称为比例。积分时间T表示积分调节的速度和强度的可调参数。在模拟积分调节器中,其值等于调节器积分环的时间常数。差分时间Td代表调节器中差动调节效果的可调参数。在模拟差分调节器中,该值等于调节器差分环路的时间常数。 19.稳定性是指在干扰作用下控制系统的性能,过渡过程是否可以完成并达到平衡。在去除干扰之后,系统可以恢复到其原始的平衡状态。 20.稳态精度是指系统处于平衡状态时受控量与给定值(即静态偏差)之间的偏差。 21.动态准确度是指在给定信号的作用下系统随时间变化的准确性。在固定值系统中,动态精度是过渡过程z *大动态偏差。 22.自动控制系统和受控对象的自动控制系统构成自动控制系统,使受控对象能够按照预定的规律动作并自动完成真空过程。如涂布机微电脑控制系统。