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真空泵系统的基本操作规则

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-19 5:57:30 * 浏览: 3
(1)启动机械真空泵时,s *必须首先确保转子向正确的方向移动,并且泵罐中的油位应满足要求。 (2)差压阀应放在机械真空泵的入口处。当机械泵停止时,机械泵入口立即连接到大气。防止泵油流回真空容器。 (3)不要使用机械泵将真空室直接泵入低于13pa的压力,否则机械泵油蒸汽很容易流回真空容器。由于分子流动状态在压力低于13pa时发生,油蒸气分子将流回真空容器并造成污染。如果在机械泵和真空容器之间提供冷凝阱,则允许机械真空泵抽取低于13Pa的压力,此时捕集器防止油蒸汽进入真空容器。 (4)不允许机械真空泵在大气压或更高压力下长时间连续工作,否则电机会过热,出油口将从泵出口喷出。 (5)在扩散泵(或油增压泵)处于大气压之前,应将泵油冷却至安全温度,以防止泵油在高温下氧化。 (6)蒸汽流量泵应在加热前供应冷却水。此外,泵应配备一个热保护继电器,当发生止水时立即使加热器断电并关闭进气阀以防止泵因温度过高而氧化。 (7)由于在泵运行和泵停止加热阶段开始时扩散泵油的回流特别严重,扩散泵入口处的高真空阀应在泵打开之前和之前关闭泵停止,这样可以防止泵油回流到真空。房间。 (8)当压力高于10-2pa时,不要向冷阱中加入液氮,这会导致大量水分凝结。冷阱应在使用前清除液氮收集器中的所有冷凝水,以防止水在收集器中冻结。当开始泵送时,z *逐步充满液氮,因此真空系统冷凝物主要被捕集在捕集器的下部。当达到高真空时,井应充满液氮至更高水平以大量捕获气体。 (9)为了缩短抽真空时间,当真空室在大气压下通风一小段时间时,最好使用干燥氮气。将真空系统内表面上的水分降低到z *的小极限。应使用排放阀在真空室一侧进行通风。不可能从扩散泵出口的前线通风。 (10)利用热阴极电离时序,当真空室内的压力达到1.33×10-11pa时,应打开电离计的功率,以防止压力计过程中阴极灯丝被烧毁。 (11)当真空系统停止工作时,系统应放置并保持在真空状态,但机械泵应通过大气。