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抽吸系列抽吸速度

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-10 0:52:09 * 浏览: 4
让我们得出结论,真空泵具有抽速S0和压缩比K0。泵通过间隙具有回流损失,回流电导率为CR。设入口压力和排气压力。泵送速度为Sb的附加泵连接到出口侧。例如,这可以是罗茨泵组或涡轮分子泵组。气体体积以泵送速度S提供给整个泵组。公式4-2:泵组合的气体流速对于返回流量CR,应用以下公式,其中CRlt,lt,S0公式4- 3:回流电导和实际压缩比率公式4-4:实际压缩比采用上述公式,因此双极泵站的抽速S将为公式4-5:抽速递推公式。该公式还可以用作多个泵级的递归公式。这些泵级通过z *的开始和预插入级的级K0和S0串联连接。